设备名称：激光共聚焦显微图像3D测量系统

生产厂家：奥林巴斯株式会社（日本）

型  号：OLS5100-SAF

主要规格及技术指标

总倍率：54x–17,280x

视场：16 µm–5,120 µm

测量原理 

  光学系统 ：反射式共焦激光扫描激光显微镜

         反射式共焦激光扫描激光-DIC显微镜

         颜色

         彩色DIC

  光接收元件 ：

         激光：光电倍增管（2通道）

         彩色：CMOS彩色相机

高度测量 

  显示分辨率：0.5 nm

  准确度：0.15 + L / 100μm（L：测量长度[μm]）

  拼接图像准确度：10X：5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L:拼接长度[μm])

  测量噪声（Sq噪声）：1 nm（典型值）

宽度测量 

  显示分辨率：1 nm

单次测量时最大测量点数量：4096 × 4096像素

最大测量点数量：3600万像素

XY载物台配置

  工作范围：100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动

最大样品高度：100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.)

主要功能及特色

  奥林巴斯共聚焦显微镜能快速高效、高逼真度地表征亚微米级三维形貌和几何特征（值）（台阶、线宽、体积、距离等），精确测量深度大于100微米的微米级尺度凹坑结构的表面粗糙度(Ra，Rz与Ry)，精度0.1nm，并对相关测量数据分析处理和图形化。

      OLS5100具备一键自动校正、一键式轮廓测量、自动提取特征点等功能，主机本体具有阻尼防震减振功能。能进行综合分析并形成分析报告，可分析的信息包括但不限于：几何尺寸、颗粒直径、2D/3D形貌图、表面粗糙度图等。